克日，荷兰光刻机巨头ASML公告：其联席总裁兼首席推广官皮特·温宁克 (PeterWennink)及联席总裁兼首席手艺官马丁·范登布林克（Mar－tinvandenBrink）将于 2024年4月24日退歇。现任首席商务官兼统造委员会成员克里斯托弗·富凯（ChristopheFouquet）将大概会成为公司的下一任总裁兼 CEO——当然，这还必要经由2024年4月24日的年度股东大会的最终核准。
温宁克和范登布林克从2013年接任ASML的总裁，至今仍旧十年。这十年，是ASML设立从此最明朗的十年。正在这个时期点上，回想一下这家公司从几近崩溃的幼公司发展为业界巨头的经过，利害常蓄志义的。
要讲ASML的故事，咱们有需要先花点篇幅来先容少少与光刻手艺及光刻组织联的配景学问BOB半岛。
庄厉来说，咱们将这项手艺称为“光刻”是有误导性的。它并不是像良多人遐念的那样用激光正在硅片上刻图，而更像是一种拍照曝光和印刷手艺的组合。
光刻的英文是Photolithography，从构词上容易看出，这个词脱胎于Lithography树胶，即“石版印刷术”。
“石版印刷术”的闭键之处正在于用化学的伎俩正在要画的图案上涂上油墨，而让其他地方连结空缺。与之似乎的树胶，光刻的闭键则正在于用化学的伎俩保存硅片中必要的部门，而去掉其他的部门。所差其余是，正在“石版印刷术”中，人们用的是油脂、树胶和水来实行这一点，而正在光刻经过中，人们则是通过光和光刻胶来实行。
群多清楚，芯片的创造经过很大水准上是一个正在硅片上雕琢出庞杂电途的经过。模仿石版印刷的思绪，可能先正在硅片上画上念要的图案，并将它保存下来。为了抵达这一点，咱们必要先正在硅片上涂上一层含有光致敏剂的光刻胶。然后再借用光学手艺将带电途图的掩膜（mask）按比例缩幼后投射到硅片上。正在光照到的地方，光刻胶就会爆发改变，造成一道珍惜层。正在经由曝光之后，就可能用含氯或氟的气体对硅片实行蚀刻（Etching）。云云，有珍惜层的地方的硅就会保存下来，而其余部门的硅则会被腐蚀掉，咱们必要的电途就被刻到了硅片上。
从史乘上看，光刻手艺浮现的时期比芯片还要早。1955年，贝尔测验室的科学家卡尔·弗洛希（CarlFrosch）和林肯·德里克（LincolnDerick）创造了一种对硅扩散实行表面珍惜和选拔性障蔽的手艺。这种手艺正在硅的表面天生固结态的氧化膜，并正在其上面蚀刻出窗口图形。云云，杂质原子就只可够从窗口扩散到硅衬底中去，而掩盖了氧化膜的硅则会被珍惜起来。1957年，物理学家杰伊·拉特罗普（JayLathrop）和詹姆斯·纳尔（JamesNall）通过改造的显微镜反射后光，得以将庞杂的电途图缩幼投射到硅片上。正在公告闭于这项手艺的论文时，拉特罗普和纳尔将它定名为Photolithography——很分明，正在定名时，他们锐意将这种手艺和陈旧的石版印刷手艺实行了类比。蓄志思的是，其后拉特罗普曾以为这个名字用得并不适合，由于本相上正在加工经过中起影响的是“蚀刻”而非印刷，但这个名字是云云活泼而长远人心，所从此来不断被沿用了下来。
跟着半导体家当的兴盛，光刻这种便捷、适用的硅片加工手艺的需求变得越来越大，于是贸易化的光刻机就有了它的市集。1961年，美国地球物理公司（GeophsicalCorporationofAmerica，简称GCA公司）的子公司大卫·曼恩公司（DavidMann）造出了天下上第一台商用光刻机——971型光刻机。固然从现正在的角度看，这台光刻机的本能存正在着良多亏折，但正在当时，它仍旧可能很好地餍足业界的必要。是以，囊括IBM、德州仪器，以及飞利浦公司正在内的半导体家当创设企业都争相采购这款光刻机，GCA也是以获取了远大的贸易凯旋。从此起源，光刻机自己也造成了一个独立的家当。
回到ASML的故事。举动一家独立的公司，ASML设立于1984年。但正在它独立之前，其前身飞利浦公司的物理测验室（简称Natlab）却仍旧与光刻机打了数十年的交道。
1962岁尾，Natlab的一个审核团赴美国视察了贝尔测验室。视察岁月，贝尔的酌量职员向他们显示了本人开荒的半导体芯片。这些芯片的灵巧做工让审核团的成员们咋舌不已。审核团成员、Natlab的主任皮特·哈依曼（PietHaaijman）将一块芯片带回了欧洲，并让测验室的酌量职员好好对其实行酌量。一位刚入职不久的酌量员弗利茨·克洛斯特曼（FritsKlostermann）正在通过显微镜精细侦察了这枚芯片后，感慨这个幼幼的元件几乎就像一只“闪灼着彩虹般光线的稀奇虫豸”。
不久后，克洛斯特曼被调到了测验室的光化学酌量幼组。这个幼组的使命是为飞利浦开荒光刻机。1963年5月，飞利浦从大卫·曼恩公司重金购入了一台1080型光刻机。举下手艺任职职员，克洛斯特曼对这架机械实行了拼装。通过这番实习BOB半岛，他精细分析了这款优秀机械的构造，也创造了它的各种缺陷，这些都为异日后开荒光刻机奠定了底子。不久之后，他又举动采购职员访候了美国多家光刻机厂，对当时种种优秀光刻机的手艺特色实行了长远的分析。
1966年，克洛斯特曼究竟获准自行研发光刻机。1967年，他就做出了一台反复曝光光刻机的原型机，并将其正在Natlab的博览会上展出。可惜的是，当时飞利浦的高层并不着重这个首要的研发成就。以后，Natlab正在光刻机的研发上还赢得了良多成效。但可惜的是，因为公司的高层对光刻机项目并不着重，导致这些酌量成就没能很好地转化为实际的产物，更无法转化为经济收益。
上世纪80年代初，飞利浦本身的财政状态陷入逆境，出于降本增效的酌量，就野心出售其光刻机等非主旨营业。开始，飞利浦的安置是让某个大型的光刻机厂商来“接盘”，但几个闭联至公司都没任何趣味。
这个光阴，一家名不见经传的公司“优秀半导体资料国际有限公司”（Ad－vancedSemiconductorMaterialsInter－nationalLtd.，简称ASM）浮现了。ASM的创始人阿瑟·德尔·普拉多（ArthurdelPrado）出生于印尼，其父母都是荷兰人。“二战”时，他曾被闭入鸠合营。接触结尾后，他回到荷兰，并研习了经济学和化学。随后，又赴美正在哈佛商学院实行了深造。从哈佛卒业后，他游历了硅谷，目击了半导体家当的焕发进展，就回到荷兰实行创业。正在他传闻飞利浦蓄志出让光刻机营业后，曾多次找上门试图寻求互帮，然而，飞利浦又岂会看得起这家新创的幼公司？于是，这个互帮不断没有凯旋。
1983年，飞利浦的光刻机营业已几克日暮途穷。就正在这时，飞利浦科学与工业部（S&I）的手艺董事乔治·德·克鲁伊夫正在报纸上看到了一篇先容ASM的报道。他创造，方今的ASM早已不是当初主动上门来求互帮的那家幼作坊，仍旧成为了一家正在美国纳斯达克上市的至公司。于是，他赶快向公司高层告诉，默示可能测验和德尔·普拉多道一下。早已为财政逆境苦恼不已的飞利浦高层此时也顾不得自持，立地就愿意了这个倡导。
两边很疾决意了互帮计划：由飞利浦和德尔·普拉多离别出资210万美元，设立一家新的公司，两边正在新公司各占50%的股份。这家新的合股公司被定名为“优秀半导体资料光刻公司”（AdvancedSemiconductorMaterialLithography），也便是其后鼎鼎学名的光刻巨头ASML。
正在ASML设立之初，它的日子相当欠好过。这时的半导体芯片江湖仍旧进入了一个新的时期。从上世纪70年代末起源，日本的半导体家当起源正在通产省的家当策略增援之下迟缓进展，日立、三菱、富士通、东芝、日本电气等企业强势兴起，成为通盘芯片行业内举足轻重的脚色。与此同时，尼康、佳能等企业则起源进入光刻机的分娩队伍，并依靠质优价廉将老牌的美国光刻机厂商打得节节败退。
与当时野蛮滋长的日本光刻机厂商比拟，更生的ASML几乎亏折一提。这家新公司的最初员工总共唯有47人，都是从飞利浦的Natlab“优化”而来的，素来就没什么斗志。他们的办公室纵正在飞利浦大厦前的方便木棚房内，可谓一番破败景致。
若何智力让这个新公司实行破局呢？德尔·普拉多以为，最首要的是要找一个靠谱的CEO。那么，谁智力胜任BOB半岛，而且同意出任这个身分呢？猎头向他推举了贾特·斯密特（GjaltSmit）。
斯密特是一位充满激情、热爱自正在的人物。他是磁流体工程学硕士和天体物理博士，并曾正在欧洲航天局任务。对付飞利浦来说，他原来不算新人。由于正在1969年时，他曾参与这家公司，但不久后，就因受不了公司的政客态度而告退分开。此时，他的身分是美国电话电报公司驻荷兰的发卖承当人。正在过去的四年中，他的任务非常卓越，帮帮公司赢得了当局的巨额订单。当德尔·普拉多见到斯密特后，立地就被斯密特呈现出的贸易直觉所吸引，以为他便是本人要找的人。倒是斯密特正在传闻飞利浦攻克ASML的一半股份后，默示出了踌躇。他对德尔·普拉多说，他钦佩飞利浦的手艺，但正在贸易和营销上，那里是一团糟。可是，德尔·普拉多早已认准了斯密特便是对的人，他很疾说服飞利浦方面，让斯密特别任ASML的CEOBOB半岛ASML：从飞利浦弃儿到光刻之王，而斯密特正在一番推脱之后也最终授与了这个身分。
若何智力让ASML迟缓抖擞起来呢？斯密特以为，最首要的冲破口是要尽疾找到客户。为了寻找客户，他于1984年5月底来到了美国加州圣马特奥参与西部半导体博览会（SEMICONWest），并看望了多家芯片巨头。看望的结果让他颓废。简直全体的芯片巨头都默示，他们正在选拔光刻机供应商时会相当正在乎对方的发卖量。来由很简便：对付利用者而言，光刻机的售后维修和珍惜长短常首要的，而唯有那些发卖量抵达必定范畴的光刻机厂商才有大概职守起专业的售后团队——本相上，日本光刻机厂商之于是可能正在短时期内抢到远大的市集份额，便是由于它们有极为出色的售后任职。然而，这所有对仍处正在一贫如洗阶段的ASML来说，分明是难以企及的。
可是，通过和芯片巨头们的交道，他也创造了一个首要的音信：当时，芯片仍旧从大范畴集成电途（LSI）进展到了超大范畴集成电途（VLSI），芯片线微米以下。倘使依据摩尔定律，那么正在两年之后，芯片的创设就请求可能实行0.7微米以下的成像，但囊括尼康、佳能、CGA正在内的全体光刻机当时都还不行抵达这一精度。
斯密特理解到，倘使ASML可能弯道超车，率先实行这种新光刻机的分娩，就可能凯旋正在市集上站住脚。凭据ASML工程师们的推断，念要正在两年内开荒云云一个新光刻机，参加的本钱约莫必要1亿美元，正在他们看来，ASML的董事会分明不会核准这么大的一笔参加。这时，斯密特的发卖阅历就阐述了影响。依靠着他的三寸不烂之舌，董事会竟非常无意地愿意了这个计划，而且让飞利浦和ASM先各拿出150万美元来举动第一笔资金。
获得了董事会的增援之后，斯密特立地启动了安置。他预先将新产物的名字定为PAS2500，并安置正在1986年的西部半导体博览会上显示新的机械。
正在斯密特的指挥之下，本来一团散沙的ASML团队究竟从新燃起了斗志。可是，这光阴，市集的情状浮现了改变。跟着经济的阑珊，芯片创设商们正在添置光刻机时变得越来越庄重。这让斯密特理解到，倘使全体把宝押正在两年后的PAS2500上，ASML大概早就倒闭了。为了提早掀开场合，他们务必先拿出一款过渡性的产物。
正在ASML工程师宵衣旰食的致力之下，过渡性子的PAS2400仅用了半年就分娩了出来。相对付当时市情上主流光刻机合用的液压机台，PAS2400采用了Natlab的电动机台，从而可能让光刻经过中的调理加倍切实。
1985年，斯密特带着PAS2400来到了西部半导体博览会实行显示。正在展会上，PAS2400的呈现相当卓越，通盘展会岁月，不断平常运作。比拟之下，其他光刻机厂商演示的产物却时时浮现种种题目。但只管云云，并没有任何订单正在会上告竣。
进入1986年，ASML的运气仿佛究竟迎来了拐点。当年岁首，它究竟迎来了本人的第一个客户——一家叫MMI的幼型芯片创设商，它添置了几台PAS2400。云云，ASML究竟实行了发卖上的零的冲破。
当年5月，PAS2500也究竟开荒完工。当斯密特带着PAS2500来到西部半导体博览会上时，这款新产物立地吸引了人们确当心。赛普拉斯（Cy－press）公司的CEO正在看过PAS2500后，对其本能默示相当得意，并默示出了添置意向。可是，他的条款是请求ASML买少少本人公司的股票，以确保两边的优点绑定。云云，倘使ASML的光刻机出了题目，它本人也会受到耗费。依据公司的原则，这有些穷苦。但对付变通的斯密特来说，这并不是题目，他指示公司的CFO很疾向NMB银行贷款治理了股份添置的资金。
斯密特还念要更多。此前，AMD的创始人杰瑞·桑德斯（JerrySanders）曾埋怨美国产的光刻机质料太差，所以不得不添置日本的产物。斯密特清楚此过后，立马让人正在报纸上登告白向桑德斯“表示”说：“咱们听见了你的线年的西部半导体博览会上，斯密特又亲身带着原料找到了桑德斯，向其兜销PAS2500。桑德斯对PAS2500相当感趣味，但正在最终一刻决意没有添置，来由是行业欠好，AMD也缺钱。
戏剧性的是，正在一年之后，所有又峰回途转，AMD主动找到了ASML请求添置光刻机。来由很离奇：AMD收购了MMI，正在清点其固定资产时，创造MMI添置的其他品牌光刻机仍旧不行再利用，而那几台PAS2400却如故平常任务。就云云，ASML究竟靠本人过硬的质料获得了AMD。
可是，当ASML正正在向好的目标转换时，斯密特的位子却变得摇摇欲堕。只管仍旧获取了一部门订单，但因为前期的巨量参加，ASML亏折重要，这让两家母公司不胜重负，就连德尔·普拉多也起源埋怨ASML的无终点烧钱。就正在这个光阴，德国的LeyboldHeraeus公司向斯密特扔出了橄榄枝，于是他就很见机地从ASML主动告退了。
从史乘的角度看，斯密特是ASML史乘上绕可是去的一个脚色。恰是他指挥ASML走过了最穷苦的岁月，也是他为ASML注入了字斟句酌、用手艺上风来霸占市集的公司心灵。
1988年春季，ASML仍旧发不出工资，最终靠飞利浦参加的130万美元才原委渡过了难闭。更为倒霉的是，ASM也被ASML的无终点烧钱拖垮了。为了避免公司崩溃，ASM不得不从ASML撤资，其正在ASML中的股份与债务由飞利浦承担。
就正在ASML简直走到山穷水尽的光阴，一笔大单却无意地从天而降了：刚设立不久的台积电要添置17台新的PAS2500。直率说，这笔订单多少有些闭连性子。台积电设立时，飞利浦曾通过手艺入股的式样获取了其27.5%的股份，所以从某种旨趣上讲，台积电和ASML有“兄弟”闭连——可是，这种闭连也有坏处，由于它正在很大水准上管造了ASML和台积电的媾和空间。1988岁尾，当台积电的更分娩线将近计划完毕时，无意境遇了一场大火，巨额原先向ASML订购的PAS2500由此受损。是以，台积电发来了新机械的订单。然而，良多正在这场失火中受损的机械原来被捣乱水准相当幼，所以ASML现实上是接收了大都机械，并捏造多了一大笔订单。因为有了这笔订单，ASML正在光刻机市集上的份额加多到了15%。
但ASML先前倾泻了远大血汗的PAS2500并没有如预期的那样受市集迎接。到1989年年中，ASML的市集份额从新跌回了6%，正在要紧光刻机厂商中位列倒数第二。而云云的来由，很大水准上是跟着芯片需求的加多，芯片创设商必要加工的晶圆规格仍旧从6英寸加多到了8英寸，但囊括PAS2500正在内的全体型号ASML光刻机还不行加工8英寸的晶圆。正在云云的情状下，要实行底子破局，就务必尽疾搞出新产物。
这个繁重的使命落到了范登布林克——也便是本文起源提到的那位即将辞任的首席手艺官身上。举动新机械的架构打算师，他被敕令要正在三个月内拿出新机械的计划。临危受命的他为了赶时期，爽快正在公司对面的司帐师事宜所找了一间清静的房间，正在内中宵衣旰食地实行任务，究竟赶正在刻期拿出了新机械PAS5500的计划。
和市集高超行的全体光刻机都差别，PAS5500是一台模块化的光刻机，它的组件可能更调。因为光刻机的利用损耗相当大，于是正在过去的全体架构下，芯片厂商时时会因一个零件的损坏而更调一整台光刻机，而PAS5500的打算分明可能治理这个题目。
固然PAS5500的打算很疾完工了，但第一台机械的交货却是1991年的事了。正在这中心，ASML处分了大方供应链方面的题目。第一台机械的买家是IBM，这时它仍旧是环球最大的半导体创设商，ASML的发卖团队经由了很大的致力，才敲开了它的大门。本相表明，当凯旋地把好的产物卖给云云的买家时，ASML的希望就线年，ASML的营收仍旧向日一年的8100万美元上升到了1.19亿美元，固然因为前期研发的巨量参加，总体上如故是亏折，但幅度仍旧大大收窄。从1993年起源，ASML的收入就浮现了飞速延长，利润也起源转正。
1995年，ASML凯旋正在纳斯达克上市。到此为止，这家一度濒临崩溃的公司仍旧发展为真正的光刻机巨头了。
那么，ASML又是若何最终超越尼康、佳能等日本的光刻巨头，最终加冕为光刻之王的呢？这原来多少有一点不常的因素。
正在光刻机行业中，有一个首要的“瑞利轨则”（RayleighCriterion）：光刻机可能处分的临界尺寸与利用光源的波长成正比，与数值孔径成反比。跟着芯片行业的进展，创设商们必要处分的电途尺寸越来越幼，所以对光源的波长请求也就越来越高。
从上世纪末起源，光源的波长不断被卡正在了193纳米BOB半岛。那么，若何智力获取更短波长的光源呢？当时，台积电的林本坚提出了一个计划，将晶圆的光刻胶上加多1毫米厚的水，从而将193纳米的光折射成134纳米的光。基于这一道理，他提出了浸入式光刻机的构想。因为台积电和ASML的“亲缘”闭连，以及过去的恒久互帮，于是正在这个构想提出后，机械的创设任务就天然交给了ASML。
固然浸入式光刻机的构想相当精巧，但从工程角度看，它并不难完工。ASML很疾就依据打算创设出了134纳米波长光源的浸入式光刻机，并依靠这台修设一举打败了尼康。只管简直同时，尼康经由研发，也冲破了193纳米的闭口，开荒出了157纳米波长光源的光刻机，但市集是残酷的。囊括IBM、英特尔正在内的良多大客户放手尼康，转投ASML。
但ASML并没有餍足。为了褂讪位子，它正在开荒浸入式光刻机的同时，就仍旧向极紫表光源，也便是EUV建议了挑衅。正在这个阶段，ASML的运气可谓爆棚。当时，美国事最热心EUV研发的国度，以英特尔为代表的少少企业设立了一个EUV同盟，良多与之闭联的手艺和专利来自于这个同盟。但因为美国和日本之间生意闭连的恶化，于是日本企业被摈弃正在了这个同盟以表。比拟之下，ASML固然也是表国公司，但酌量到其人畜无害的形势，于是被领受到了这个同盟当中。
ASML正在这个同盟中获取了良多有效的音信，并很疾试探出了一种新的EUV爆发伎俩：用激光轰击锡珠，让其化为等离子态，从而爆发EUV。基于这个伎俩，ASML于2010年推出了第一台EUV样机。
可是，将样机变为可能发卖的商品还必要良多参加，预期的参加大概抵达每年10亿欧元，以ASML的财力并没有才智单独完工这所有。为分析决这个题目，它邀请了英特尔、三星和台积电入股合伙研发。究竟，正在2013年，量产的EUV光刻机NEX:3300B面世了——也就正在这一年，温宁克和范登布林克接过了公司的指导权。以后，正在这两位联席总裁的指导下，ASML不停高歌大进，于2017年推出了TWINSCANNXE:3400B，将光刻机的造程（即最幼的电途栅格间隔断）从7纳米推到了5纳米。而由此，ASML的光刻霸主位子也最终确定。